日本ace半導(dǎo)體自動(dòng)調(diào)節(jié)壓力控制器

產(chǎn)品型號(hào)： AP160M

所屬分類：壓力控制器

產(chǎn)品時(shí)間：2025-08-05

簡(jiǎn)要描述：日本ace半導(dǎo)體自動(dòng)調(diào)節(jié)壓力控制器AP160M
AP160M是一種控制器，可根據(jù)半導(dǎo)體制造過(guò)程中使用的氣體，通過(guò)自動(dòng)控制比例電磁閥的開(kāi)度來(lái)自動(dòng)調(diào)節(jié)管道中的壓力。由于它具有內(nèi)置壓力傳感器，因此無(wú)需添加外部傳感器。

聯(lián)系我們在線咨詢

詳細(xì)說(shuō)明：

日本ace半導(dǎo)體自動(dòng)調(diào)節(jié)壓力控制器AP160M

半導(dǎo)體自動(dòng)調(diào)節(jié)器非常適合從低真空到高真空的真空工藝設(shè)備

AP160M是一種控制器，可根據(jù)半導(dǎo)體制造過(guò)程中使用的氣體，通過(guò)自動(dòng)控制比例電磁閥的開(kāi)度來(lái)自動(dòng)調(diào)節(jié)管道中的壓力。由于它具有內(nèi)置壓力傳感器，因此無(wú)需添加外部傳感器。

最大控制壓力約為650kPa，最大控制流速為100kPa壓差，有兩種接觸類型，即500cc / min和3000cc / min。通過(guò)通過(guò)脈沖寬度調(diào)制來(lái)控制比例電磁閥，AP160M模型可以提高響應(yīng)度并消除滯后現(xiàn)象，因此可以在大約1秒鐘內(nèi)達(dá)到設(shè)定壓力。

壓力b型接頭是1/4“ VCR等效產(chǎn)品，氣體接觸部分和壓力傳感器均由金屬制成，并且與惰性氣體，腐蝕性氣體，危險(xiǎn)氣體等所有氣體兼容。除了半導(dǎo)體工藝氣體以外，也是可能的。

日本ace半導(dǎo)體自動(dòng)調(diào)節(jié)壓力控制器AP160M

規(guī)格

模型	AP160M
主要用途	對(duì)于半導(dǎo)體
目標(biāo)氣體	半導(dǎo)體工藝氣體就座氣體
入口壓力	500kPa以下
耐壓	小于1000kPa
壓力設(shè)定	需要計(jì)算機(jī)等輸入的壓力設(shè)定值
控制方式	比例電磁紙漿批發(fā)
控制壓力	0-500kPa
最大流量	當(dāng)壓差為100 kPa時(shí)，有兩種類型，即500 cc / min和3000 cc / min。
響應(yīng)時(shí)間	1秒鐘達(dá)到設(shè)定值
輸入信號(hào)	0 ?? 5VDC連續(xù)/關(guān)閉
輸入信號(hào)	R485
外部傳感器輸入	（4 ?? 20A可能）
輸出信號(hào)	報(bào)警輸出RS485.0-5VDC
管件	1/4〃VCR等效
閥座泄漏	10-6Pa ? m3 /秒以下
準(zhǔn)確性	±5kPa（在800kPaFS時(shí)）
電源電壓	24VDC±10％
目前的消費(fèi)	200mA以下
工作溫度	0-50℃無(wú)凝結(jié)
面之間的外部尺寸	寬36×深46×高60mm
壓力傳感器	是（內(nèi)置）
顯示設(shè)定裝置	沒(méi)有裝備

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細(xì)地址：
補(bǔ)充說(shuō)明：
驗(yàn)證碼：

請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果（填寫(xiě)阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

上一篇：AP150N日本ace適用于空氣的壓力控制器

下一篇：AP200系列日本ace自動(dòng)壓力控制器

15270896115

日本ace半導(dǎo)體自動(dòng)調(diào)節(jié)壓力控制器

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細(xì)地址：

補(bǔ)充說(shuō)明：

驗(yàn)證碼：