在半導體和電子行業(yè)的精密制造領域，掃描電子顯微鏡（SEM）是進行材料分析和缺陷檢測的關鍵工具。而SEM樣品制備的質量直接決定了成像的清晰度和數據的可靠性。
日本Shinkuu公司推出的MSP-1S磁控離子濺射儀以其性能和針對性的設計，成為這一環(huán)節(jié)中不可少的設備，為行業(yè)提供了高效的解決方案。
MSP-1S是日本Shinkuu公司專門為鎢燈絲掃描電子顯微鏡樣品制備而設計的緊湊型濺射系統。該設備采用磁控濺射技術，通過在靶材背面使用強磁鐵促進陰極表面層電離，然后利用磁場用離子轟擊靶材以釋放金屬分子，從而在樣品表面形成均勻的金屬薄膜。
這一技術原理確保了薄膜厚度的一致性和顆粒分布的均勻性，為高質量SEM成像奠定了基礎。
核心配置方面，MSP-1S采用了一體化設計，內置真空泵系統，簡化了安裝和操作流程。其真空室含有金-鈀合金靶，同時支持鉑、Pt-Pd、Au等多種可選靶材，滿足不同應用場景的需求。
該設備尺寸為20cm×35cm×34cm，重量僅14kg，占地空間小，非常適合實驗室環(huán)境使用。
在半導體制造過程中，MSP-1S發(fā)揮著至關重要的質量監(jiān)控作用。前道量檢測是芯片生產的核心環(huán)節(jié)，它通過對工藝參數進行實時監(jiān)控，確保每一層加工都符合設計要求。
MSP-1S制備的樣品能夠支持高達約50,000倍的高倍率觀察，滿足半導體行業(yè)對高分辨率成像的嚴格要求。
針對不同類型的半導體樣品，MSP-1S具備廣泛的適應性：
硅基材料：采用RCA標準清洗流程（SC1+SC2）后進行濺射處理。
化合物半導體：可進行低功率氧等離子處理（100W，3min）以優(yōu)化表面特性。
敏感器件：結合超臨界CO?干燥技術，避免樣品損傷。
MSP-1S通過提供優(yōu)異的樣品制備質量，幫助半導體制造商提升產線良率，減少因缺陷導致的經濟損失（據估計，產品良率每降低一個百分點，晶圓代工廠商將損失100-800萬美元）。
MSP-1S采用磁控濺射技術，與傳統的濺射方法相比具有多項顯著優(yōu)勢。磁控靶電極的設計使離子與靶材碰撞更加高效，噴出的金屬分子分布更為均勻，形成的薄膜顆粒尺寸更小，一致性更高。
設備配備的風冷磁控管靶能有效減少樣品熱損傷，防止靶溫度過高，這對于熱敏感樣品尤為重要。
操作簡便性是MSP-1S的另一大亮點。用戶只需使用計時器設置涂層時間，然后按開始按鈕即可完成濺射過程。這種人性化設計使得即使是沒有經驗的操作人員也能輕松獲得專業(yè)級的制備效果。
MSP-1S還具備良好的安全性能，采用“O"型密封封閉真空系統，頂部陰極和磁偏轉系統連成一體，確保操作安全可靠。
MSP-1S與其他型號濺射儀的性能對比如圖所示：
不同型號濺射儀的性能對比
在電子顯微鏡分析中，不同的觀察倍率需要不同特性的薄膜材料。MSP-1S支持多種靶材，每種材料適用于特定的觀察場景：
金靶（Au）：適用于數千至10,000倍的低倍率觀察，具有良好的導電性和對比度
金鈀合金（Au-Pd）：適合10,000至50,000倍的觀察范圍，平衡了顆粒細度和導電性能
鉑靶（Pt）：支持50,000至100,000倍的高倍率觀察，顆粒細膩
鉑鈀合金（Pt-Pd）：適用于30,000至50,000倍的觀察，常用于高倍率觀察
鎢靶（W）：支持100,000倍以上的超高倍率觀察，粒徑與鋨相當，適合最高分辨率的SEM觀察
這種針對性的材料選擇使研究人員能夠根據具體的觀察需求優(yōu)化樣品制備方案，獲得理想的成像效果。
Shinkuu MSP-1S在半導體和電子行業(yè)的應用超越了簡單的樣品制備工具范疇，它已成為提升產品質量和工藝水平的重要支撐。
隨著半導體技術節(jié)點不斷縮?。壳耙呀咏?納米技術節(jié)點），對檢測精度的要求日益提高，MSP-1S提供的精密樣品制備能力顯得尤為關鍵。
在質量控制方面，MSP-1S幫助實現精確的缺陷識別和分析。通過制備高質量的SEM樣品，工藝工程師能夠準確識別晶圓表面的雜質顆粒沾污、機械劃傷和圖案缺陷等問題，及時調整工藝參數，減少缺陷率。
在研發(fā)創(chuàng)新方面，MSP-1S為新材料和新工藝的開發(fā)提供了有力支持。研究人員可以通過它制備的各種薄膜樣品，進行材料表征、界面分析等工作，加速新產品研發(fā)進程。
此外，MSP-1S的操作效率也為企業(yè)帶來了經濟效益。其快速準備和簡易操作減少了樣品制備的時間成本，提高檢測工作的整體效率。這對于需要大量樣品分析的半導體制造環(huán)境來說，意味著顯著的時間節(jié)約和成本降低。
