agc濺射靶材的特點及運用示例分析

1. 光學薄膜用靶材

目的

1. 汽車和住宅用表面處理玻璃的低輻射涂層

2. 顯示膜和玻璃減反射涂層

3. 觸摸屏等光學調(diào)整膜（折射率匹配膜）

4. 信息電子玻璃用光學多層膜（CD、DVD等的鏡子）

此處列出的質(zhì)量數(shù)據(jù)僅供參考，并非保證值。關于下單時的質(zhì)量保證，我們將另行協(xié)商決定。請注意，列出的質(zhì)量數(shù)據(jù)如有更改，恕不另行通知。

特征

SC

• 由于其高強度、高導熱性、均勻的結構靶材，實現(xiàn)了長期穩(wěn)定放電。

• 與使用結晶Si成膜的情況相比，成膜速度提高了20%。

• 通過氧化反應濺射獲得非晶SiO 2膜。

• 通過氧化反應濺射獲得的薄膜是無色且高度透明的。

N.B.O.

• 成膜速度比金屬鈮成膜時快3倍以上。

• 通過氧化反應濺射獲得非晶Nb 2 O 5膜。

• 通過氧化反應濺射獲得的薄膜是無色且高度透明的。

TXO

• 成膜速度比金屬Ti快7倍以上。

• 通過氧化反應濺射獲得非晶TiO 2膜。

• 通過氧化反應濺射獲得的薄膜是無色且高度透明的。

2. 高耐久性保護膜用靶材/中折射率薄膜用靶材

目的

1. 汽車、住宅用表面處理玻璃（有色玻璃、熱反射玻璃等）保護膜

2. 顯示薄膜（觸摸屏等）的防反射涂層

3. 適用于條碼閱讀器和復印機頂部玻璃的防刮保護膜

4. 適用于所有需要耐堿、耐刮傷的薄膜的保護膜。

此處列出的質(zhì)量數(shù)據(jù)僅供參考，并非保證值。關于下單時的質(zhì)量保證，我們將另行協(xié)商決定。請注意，列出的質(zhì)量數(shù)據(jù)如有更改，恕不另行通知。

特征

SX

• 通過氧化反應濺射獲得非晶膜，該非晶膜平坦且具有低摩擦特性。

• 通過氧化反應濺射獲得的薄膜是無色且高度透明的。

• 通過氧化反應濺射獲得的薄膜具有優(yōu)異的耐刮擦性和耐化學性。

英石

• 成膜速度比SX更快。

• 通過氧化反應濺射獲得非晶膜，該非晶膜平坦且具有低摩擦特性。

• 通過氧化反應濺射獲得的薄膜是無色且高度透明的。

• 通過氧化反應濺射獲得的薄膜具有優(yōu)異的耐刮擦性和耐化學性。

• 通過氧化反應濺射獲得的薄膜具有液滴特性。

• 所得薄膜的折射率可在 1.7 至 2.0 之間變化，具體取決于目標組合物。

3. Low-E介電薄膜靶材/中折射率薄膜靶材

目的

1. 建材用Low-E（低輻射）薄膜用介電薄膜

2. 防反射膜等光學膜用中折射率膜

此處列出的質(zhì)量數(shù)據(jù)僅供參考，并非保證值。關于下單時的質(zhì)量保證，我們將另行協(xié)商決定。請注意，列出的質(zhì)量數(shù)據(jù)如有更改，恕不另行通知。

特征

1. 使用我們的制造方法，圓柱形 SZ 靶材與背襯管實現(xiàn)了高粘合強度。因此，與傳統(tǒng)的熱噴涂靶相比，可以使用高功率濺射進行高速成膜。

2. 可制造總長3m以上的長圓柱形靶材。

4、透明導電膜用靶材

目的

1. 環(huán)境及能源玻璃（太陽能電池等）用透明電極

2. 顯示玻璃用透明電極

3. 汽車和住宅玻璃用透明導電膜（熱反射玻璃、電動汽車表面加熱元件等）

4. 纖維、薄膜等抗靜電涂膜

此處列出的質(zhì)量數(shù)據(jù)僅供參考，并非保證值。關于下單時的質(zhì)量保證，我們將另行協(xié)商決定。請注意，列出的質(zhì)量數(shù)據(jù)如有更改，恕不另行通知。

特征

1. 相對密度90%以上的高密度ZnO靶材。

2. 與ITO相比，不易產(chǎn)生結節(jié)，可實現(xiàn)穩(wěn)定的放電。

3. 可在純氬氣氣氛下成膜。

4. 即使在室溫下也可以形成結晶膜。