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日本tasahi半導體和LCD制造設備用橡膠參數(shù)介紹
- 對溶劑、酸和堿具有出色的耐受性。
? 比 perflo-elastomer 便宜。
-適用于半導體和液晶制造設備的濕部件。
氟橡膠的交聯(lián)方式主要有兩種：多元醇交聯(lián)（氟橡膠的主流）和過氧化物交聯(lián)，但各有優(yōu)缺點如下表所示。
| 強項 | 缺點 | |
|---|---|---|
| 多元醇 | 優(yōu)于壓縮變形 | 用蒸汽水解 |
| 過氧化物 | 優(yōu)異的耐水性和耐蒸汽性 | 耐熱性和壓縮變形較差 |
由 Asahi Tazaki 開發(fā)的耐蒸汽性 T77SA01 具有基于多元醇的壓縮變形和耐高溫蒸汽性。
半導體制造設備
| 耐蒸汽 (T77SA1) | 通用 FKM | ||
|---|---|---|---|
| 初始物理特性 | |||
| 抗拉強度 (MPa) 伸長率 (%) 硬度 | 10.5 230 A69 / S | 13.1 270 A70 / S | |
| 在100°C 和 1 個大氣壓下 蒸汽 | 120H后 | ||
| 抗拉強度變化率 (%) 伸長率 變化率 (%) 硬度變化 | ± 0 +1.5 ± 0 | -20.5 +3.7 -4 | |
| 240小時后 | |||
| 抗拉強度變化率 (%) 伸長率 變化率 (%) 硬度變化 | -3.5 +3.5 -2 | -31.0 + 15.5 -8 | |
| 180℃ 蒸汽 | 1000H后 | ||
| 抗拉強度變化率 (%) 伸長率 變化率 (%) 硬度變化 | -15 +8 | -68 -二十五 | |
| 壓縮畸變率(%) 175° x 22H | 四 | 7 | |
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